成像范围：≥100 mm*100 mm
扫描步长：1.25 μm
重复定位精度：≤1 μm
样品台可自动进行高度调节，调节范围≥10 mm
样品台水平度可调节
工作模式：运动至指定位置、连动、点动
短行程三维扫描位移台TA-SS1，三维层析成像费飞行时间3D扫描位移台透射反射无损检测便携台式高精度